Achievements
隨著無線通信技術(shù)的飛速發(fā)展,電磁干擾、電磁信息泄露、電磁環(huán)境污染等問題也變的越來越嚴(yán)重。目前,幾乎所有的電子和電器設(shè)備都不可避免的收到電信號(hào)和磁信號(hào)的干擾。因此,電磁干擾的問題受到廣泛的關(guān)注,電磁屏蔽材料的研究也成為一個(gè)熱點(diǎn),對(duì)于國(guó)民經(jīng)濟(jì)的可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略具有重要的意義。相對(duì)于傳統(tǒng)的金屬類評(píng)級(jí)材料,目前的電磁屏蔽材料向著輕、薄、易加工的方向發(fā)展,以適應(yīng)微電子工業(yè)中無源器件的發(fā)展。
近幾年來,電磁屏蔽復(fù)合材料制作的一種方法是在聚合物中添加導(dǎo)電顆粒,如銀、銅、鎳、鐵或碳納米管等,通過在聚合物基體內(nèi)形成導(dǎo)電通路來提高聚合物的導(dǎo)電性,從而提高電磁屏蔽效能。這類屏蔽材料主要的問題是如果要達(dá)到較高的屏蔽效能則需要較高的成本,只具有單一的電屏蔽的功能,且反射損耗太大,容易造成二次電磁干擾。
本發(fā)明特別設(shè)計(jì)由導(dǎo)電填料和鐵磁性填料組成、制備溫度低、工藝簡(jiǎn)便的一種新型電磁屏蔽復(fù)合材料及其制備方法。這類材料的應(yīng)用頻率范圍在8.2~12.4GHz范圍內(nèi),總電磁屏蔽效能在30~70dB之間,具有很好的應(yīng)用前景
商談。
基于化學(xué)自組裝的低成本納米圖案化藍(lán)寶石襯底制備技術(shù)
GaN基的發(fā)光二極管(LED)作為一種新型高效的固體能源,將成為人類照明史上繼白熾燈、熒光燈之后的第三代照明工具。外延GaN使用最廣泛的襯底是藍(lán)寶石,與普通的平整藍(lán)寶石襯底相比,經(jīng)生長(zhǎng)或刻蝕的方式制作出的具有周期性凸凹起伏結(jié)構(gòu)的圖案化藍(lán)寶石襯底,可以減少外延生長(zhǎng)GaN的位錯(cuò)密度,改善晶體質(zhì)量,提升LED內(nèi)量子效率。同時(shí)圖案化的藍(lán)寶石襯底有效解決了由于GaN材料折射率大引起的全反射問題,增加了光提取效率。研究表明,微米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底可以大幅度提高LED的芯片亮度,而使用納米級(jí)的圖案化藍(lán)寶石襯底亮度將更高。目前雖然可以制造出微米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底,但是需要進(jìn)行黃光光刻工藝,存在成本高且產(chǎn)率低等問題;如果要形成納米級(jí)周期性結(jié)構(gòu),所采用的次微米圖形加工工藝昂貴,500nm以下的圖形成本更高。我們以化學(xué)自組裝工藝代替?zhèn)鹘y(tǒng)半導(dǎo)體光刻工藝,發(fā)展出一種低成本的納米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底加工技術(shù),以提供LED企業(yè)急需的面向高端產(chǎn)品(高亮度、大功率照明用LED)的藍(lán)寶石襯底。
本技術(shù)以膠體納米球作為構(gòu)筑基元,利用化學(xué)自組裝方法制備大面積(可達(dá)4英寸)膠體晶體單層——一種納米級(jí)有序排列形成的周期性結(jié)構(gòu)(圖1),再通過干法刻蝕或者濕法腐蝕的方法將該周期性結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到藍(lán)寶石襯底上,從而得到納米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底(圖2)。整個(gè)方法建立在化學(xué)自組裝技術(shù)基礎(chǔ)上,擯棄了傳統(tǒng)半導(dǎo)體光刻工藝,快速、重復(fù)性好,大大降低了納米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底的制備成本,從而為外延生長(zhǎng)高亮度、大功率照明用GaN材料提供更高質(zhì)量、更低成本的藍(lán)寶石襯底。
目前我國(guó)照明行業(yè)產(chǎn)值已達(dá)800多億元,市場(chǎng)對(duì)高端LED產(chǎn)品的需求越來越旺盛。為了提高LED的發(fā)光效率,除采用優(yōu)化的外延結(jié)構(gòu)外,使用圖案化藍(lán)寶石襯底是廣泛采用的方法之一。目前高光效圖案化藍(lán)寶石襯底的市場(chǎng)年需求量為1000多萬片,并且隨著我國(guó)“十城萬盞”計(jì)劃的推進(jìn),每年的需求量將有一個(gè)很大的遞增。當(dāng)前的圖案化藍(lán)寶石襯底無論在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)還是國(guó)際市場(chǎng)都是供不應(yīng)求,而在中國(guó)國(guó)內(nèi)還未有相應(yīng)的技術(shù)和方法,外延所需的圖案化襯底主要從美國(guó)、韓國(guó)和臺(tái)灣進(jìn)口。因此,面對(duì)市場(chǎng)對(duì)高端LED產(chǎn)品的需求,納米級(jí)圖案化襯底的市場(chǎng)規(guī)模巨大,前景非常好。本項(xiàng)目攜手藍(lán)寶石襯底企業(yè)或LED企業(yè),瞄準(zhǔn)LED高端市場(chǎng)的需求,生產(chǎn)目前LED企業(yè)急需的納米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底,力爭(zhēng)成為國(guó)內(nèi)首家納米級(jí)圖案化藍(lán)寶石襯底專業(yè)制造商。
技術(shù)轉(zhuǎn)讓或合作開發(fā),商談。
能源環(huán)境。